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南大光电从193nm光刻胶到2019年底建成的一条光刻胶生产线

时间:2019-7-19, 来源:互联网, 资讯类别:国内企业

导读:7月17日,南大光电在互动平台透露,公司设立光刻胶事业部,并成立了全资子公司“宁波南大光电材料有限公司”,全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”落地实施。目前该项目完成的研发技术正在等待验收中,预计2019年底建成一条光刻胶生产线,项目产业化基地建设顺利。

近日,南大光电在互动平台上表示,参股公司北京科华开发的248nm光刻胶目前已通过包括中芯国际在内的部分客户的认证。

此外,南大光电透露,193nm光刻胶处于研发阶段,产业化同步进行,进展顺利。公司组建专职的研发团队,建成1500平方米的研发中心和百升级光刻胶中试生产线,产品研发进展和成果得到业界专家的认可。成立了“宁波南大光电材料有限公司”,全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”的落地实施。工厂建设完成了所有桩基工程,重要设备的购置正在洽谈中,项目产业化基地建设顺利。

北京科华官网显示,它是一家中美合资企业,成立于2004年,产品覆盖KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂,产品打入了中芯国际、华润上华、士兰微、吉林华微电子、三安光电、华灿光电、德豪光电等供应体系。

南大光电被视作国产光刻胶希望之一,主要有MO源、电子特气、光刻胶三大业务板块。

2015年9月,南大光电入股北京科华并对外宣称,双方将共同开展193nm光刻胶的研究与产品开发。

当时,南大光电副总经理许从应表示,北京科华248nm光刻胶项目成功,为193nm光刻胶产业化提供了工程化团队与工程化技术的基础。193nm光刻胶在国际上是成熟产品,在现有基础上,通过国家支持以及北京科华和南大光电合作,引进人才等措施,193nm光刻胶产业化项目的成功是大概率事情。

根据北京科华与南大光电的计划,2016年~2017年将完成193nm干式光刻胶的研发工作,产品达到客户送样验证要求,2018年产品通过客户验证;在193nm浸没式光刻胶方面,2017年~2018年完成研发工作,达到客户送样验证要求,2019年~2020年产品通过客户使用验证,而后逐渐形成批量销售。

不过,双方的合作迟迟没有进展,直到2018年12月,南大光电宣布使用部分超募资金投资“ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。而在该项目中,也没有北京科华的身影。

2018年1月,南大光电与宁波经济技术开发区管理委员会签订投资协议书,南大光电拟在宁波开发区投资建设高端集成电路制造用193nm光刻胶材料以及配套关键材料研发及生产项目;11月2日,该项目正式开工。

南大光电凭借30多年来的技术积累优势,南大光电先后攻克了国家863计划MO源全系列产品产业化、国家“02—专项”高纯电子气体(砷烷、磷烷)研发与产业化、ALD/CVD前驱体产业化等多个困扰我国数十年的项目,填补了多项国内空白。2017年,南大光电承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的193nm光刻胶材料的研发与产业化项目。

通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化,南大光电形成了MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块。


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